X熒光光譜儀UX-310的多種檢測模式
信息來源于: 發(fā)布于:2022-07-24
X熒光光譜儀UX-310一般認(rèn)為有三種分析模式,即點分析、線分析和面分析。
點分析:將電子探針固定在試樣感興趣的點上,進(jìn)行定性或定量分析。該方法用于顯微結(jié)構(gòu)的成份分析,例如對材料晶界、夾雜、析出相、沉淀物、奇異相及非化學(xué)計量材料的組成等分析。
線分析:電子束沿一條分析線進(jìn)行掃描(或試樣掃描)時,能獲得元素含量變化的線分布曲線。如果和試樣形貌像(二次電子像或背散射電子像)對照分析,能直觀地獲得元素在不同相或區(qū)域內(nèi)的分布。沿需要檢測的線逐點測量成分,也可以劃出該線的成分變化曲線。
面分析:將電子束在試樣表面掃描時,元素在試樣表面的分布能在CRT上以亮度分布顯示出來(定性分析),亮度越亮,說明元素含量越高。研究材料中雜質(zhì)、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常與形貌像對照分析。
針對不同檢測場景和檢測環(huán)境,對樣品進(jìn)行不同的檢測模式。
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點分析:將電子探針固定在試樣感興趣的點上,進(jìn)行定性或定量分析。該方法用于顯微結(jié)構(gòu)的成份分析,例如對材料晶界、夾雜、析出相、沉淀物、奇異相及非化學(xué)計量材料的組成等分析。
線分析:電子束沿一條分析線進(jìn)行掃描(或試樣掃描)時,能獲得元素含量變化的線分布曲線。如果和試樣形貌像(二次電子像或背散射電子像)對照分析,能直觀地獲得元素在不同相或區(qū)域內(nèi)的分布。沿需要檢測的線逐點測量成分,也可以劃出該線的成分變化曲線。
面分析:將電子束在試樣表面掃描時,元素在試樣表面的分布能在CRT上以亮度分布顯示出來(定性分析),亮度越亮,說明元素含量越高。研究材料中雜質(zhì)、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常與形貌像對照分析。
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